Special gases
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Three chlorine fluoride
description
Chlorine trifluoride (ClF3) is a corrosive, colorless, sweet-smelling gas that is highly irritating even at low concentrations. It is highly oxidizing and can ignite many organic compounds and many metals at high temperatures. It reacts violently with water and is transported as a liquefied gas under its own pressure.

specification
purity,% 99.9
oxygen ≤20 ppmv
Nitrogen ≤50 ppmv
Hydrogen sulfide ≤700 ppmv

transport
DOT shipping name Chlorine trifluoride
DOT classification 2.3
DOT tag Toxic gas, oxidant and corrosive
UN NO. UN 1045
CAS NO. 7664-41-7
CGA/DISS 670/728
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) -
Molecular weight ( g / mol ) 66.007
Specific gravity (air =1) 3.14
Critical temperature ( °C ) 23.85
Critical pressure ( psig ) 823.2

application
- In the semiconductor industry, chlorine trifluoride is used to clean chemical vapor deposition chambers. It has the advantage of being able to remove semiconductor material from the chamber wall without having to disassemble the chamber. Unlike most alternatives, it does not require the activation of a plasma, and the chamber is sufficiently hot to decompose and react with the semiconductor material;

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