Special gases
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Silicon dichloride
description
Dichlorodihydrosilane (SiH2CL2, DCS) is highly toxic, colorless, flammable, liquefied gas with a strong pungent odor.Hydrolysis with water to form hydrochloric acid. It is transported as a liquefied gas under its own steam pressure.

specification
purity,% 99 99.9
Typical resistivity ≥ 200 ohm-cm ≥ 400 ohm-cm
Monochlorosilane ≤ 0.2% ≤ 100 pm
Trichlorosilane ≤ 0.5% ≤ 200 pm
Silicon tetrachloride ≤ 0.1% ≤ 100 pm
Other chlorosilane ≤ 1 wt % ≤ 500 pm

transport
DOT shipping name Toxic inhalation hazard
DOT classification 2.3
DOT tag Poisonous gas, non-flammable
UN NO. UN 2189
CAS NO. 4109-96-0
CGA/DISS/JIS 678/636/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air 4.1-98.8%
Auto-ignition temperature ( °C ) 100
Molecular weight ( g / mol ) 101.01
Specific gravity (air =1) 3.47
Critical temperature ( °C ) 175.85
Critical pressure ( psig ) 678.2

application
- in the chemical vapor deposition (CVD) project together with ammonia (NH3) as a raw material for the silicon precursor (Silicon Precursor); 
- used in the deposition process of silicon epitaxial;

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