Special gases
current location:Home > Product > Special gases
Methyl fluoride
description
Monofluoromethane (CH3F/Halocarbon 41) is a non-toxic, liquefied flammable gas at standard temperature and pressure.

specification
Purity , % 99.99 99.995
oxygen ≤ 20 ppbv ≤ 5 ppmv
Nitrogen ≤ 70 ppbv ≤ 20 ppmv
carbon dioxide
≤ 10 ppmv
Carbon monoxide
≤ 10 ppmv
Methane
≤ 5 ppmv
Moisture ≤10 ppbv ≤ 2 ppmv

transport
DOT shipping name Monofluoromethane
DOT classification 2.1
DOT tag flammable gas
UN NO. UN2810
CAS NO. 593/53/3
CGA/DISS/JIS 350/724/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air
Auto-ignition temperature ( °C ) -18
Molecular weight ( g / mol ) 34.03
Specific gravity (air =1) 1.18
Critical temperature ( °C ) 45
Critical pressure ( psig )

application
- in semiconductor manufacturing, monofluoromethane is a plasma etching gas of a silicon compound film;

Share to: