Special gases
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Three boron fluoride
description
Boron trifluoride (BF3) is a colorless, corrosive, non-flammable, toxic, irritating, asphyxiating gas. Forms dense smoke in moist air. Boron trifluoride stimulates the mucosa. It is soluble in water and decomposes to form hydrofluoric acid.It can be hydrolyzed in humid air. Boron trifluoride is transported as a high pressure compressed gas.

specification
Purity , % 99.5 99.995
Oxygen + nitrogen + argon
≤10 ppmv
carbon dioxide
≤ 10 ppmv
Inert gas (oxygen + nitrogen + carbon dioxide) ≤ 4000 ppm
Sulfur dioxide ≤ 20 ppm ≤ 10 ppmv
Silicon tetrafluoride ≤ 300 ppm ≤3 ppmv
Moisture ≤ 0.3 %

transport
DOT shipping name Boron trifluoride, compressed
DOT classification 2.3
DOT tag Toxic gas / aspiration hazard
UN NO. UN1008
CAS NO. 7637/7/2
CGA/DISS/JIS/DIN477 330/642/W22-14L/NO.8
Transportation status compressed gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  gas
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature (°C) -
Molecular weight ( g / mol ) 67.805
Specific gravity (air =1) 2.32
Critical temperature ( °C ) -12.25
Critical pressure ( psig ) 708.32

application
- in semiconductor fabrication, boron trichloride is used for P-type diffusion on silicon wafers; 
- ion implantation;

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