Special gases
current location:Home > Product > Special gases
Silicane
description
Disilane (Si2H6) is non-corrosive, colorless, gas, and self-igniting in air. Slowly decompose to monosilane and hydrogen at room temperature. It is compatible with hydrogen, argon, helium and nitrogen, and is often mixed with these gases, or pure gas can be transported.

specification
purity,% 99.998
Oxygen + argon ≤ 1 ppmv
Nitrogen ≤ 1 ppmv
Carbon monoxide ≤ 1 ppmv
carbon dioxide ≤ 1 ppmv
Total hydrocarbon (methane) ≤ 1 ppmv
TCS (total chlorosilane) ≤ 0.2 ppmv
Higher silane  ≤ 50 ppmv
Silane ≤ 200 ppmv
Moisture ≤ 1 ppmv

transport
DOT shipping name Combustible compressed gas
DOT classification flammable gas
DOT tag flammable gas
UN NO. UN 1954
CAS NO. 1590 -87- 0
CGA/DISS/JIS 350/632/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air 2-98%
Auto-ignition temperature ( °C ) -100
Molecular weight ( g / mol ) 62.22
Specific gravity (air =1) 2.1
Critical temperature ( °C ) 150.85
Critical pressure ( psig ) 747

application
- Mainly used for fast and low-temperature deposition of uniform films in microcomputer-based semiconductor processes, such as IC semiconductors below 20 nm, advanced random access memory and flash memory (DRAM/NAND Flash), and also in gas distribution For HIT thin film solar cells, TFT-LCD panels and LED applications;

Share to: