Special gases
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Three boron chloride
description
Boron trichloride (BCl3) is a colorless, corrosive, non-flammable gas with an irritating, pungent odor that forms dense smoke in moist air. Boron trichloride can stimulate the mucosa. Hydrolyzed in moist air to form hydrogen chloride. It is transported as a liquefied gas under its vapor pressure.


specification

Purity , % 99.9 99.999
Free chlorine ≤100 ppmw
Phosgene ≤100 ppmw
oxygen
≤1.0 ppmv
Nitrogen
≤1.0 ppmv
carbon dioxide
≤1.0 ppmv
Carbon monoxide
≤1.0 ppmv
Moisture


transport
DOT shipping name Boron trichloride 
DOT classification 2.3
DOT tag Gas/breathing hazard, corrosion
UN NO. UN1741
CAS NO. 10294-34-5
CGA/DISS/JIS 660/634/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature (°C) -
Molecular weight ( g / mol ) 117.17
Specific gravity (air =1) 4.04
Critical temperature ( °C ) 178.8
Critical pressure ( psig ) 546.6

application
- in semiconductor fabrication, boron trichloride is used for P-type diffusion on silicon wafers; 
- ion implantation; 
- metal plasma etching; 
- in various chemical reactions;
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