Special gases
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Chlorine
description
Chlorine (Cl2) is a yellow-green, non-toxic, non-flammable, oxidizing, irritating suffocating gas that can irritate the mucous membranes. It is transported as a liquefied gas under its own vapor pressure.

specification
Purity , % 99.99 99.999
oxygen ≤ 50 ppmv ≤ 1.0 ppmv
Nitrogen ≤ 50 ppmv ≤ 2.0 ppmv
carbon dioxide ≤ 30 ppmv  ≤ 4.0 ppmv
Carbon monoxide ≤ 5 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Methane ≤ 1 ppmv ≤ 0.1 ppmv
Moisture ≤ 10 ppmv ≤ 2.0 ppmv

transport
DOT shipping name Chlorine gas
DOT classification 2.3
DOT tag Harmful, corrosive gases
UN NO. UN1017
CAS NO. 7782-50-5
CGA/DISS/JIS/BS341/DIN477 660/728/W26-14R/NO.6/NO.8
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) -
Molecular weight ( g / mol ) 70.906
Specific gravity (air =1) 2.473
Critical temperature ( °C ) 144
Critical pressure ( psig ) 1103.69

application
- in semiconductor manufacturing: ion etching of aluminum and other metal layers; 
- chlorination of various organic chemicals;

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