Special gases
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Hexafluoro-1,3-butadiene
description
Hexafluoro-1,3-butadiene (C4F6)

specification
purity,% 99.9
Argon + oxygen ≤ 10 ppmv
Nitrogen ≤ 40 ppmv
carbon dioxide ≤ 20 ppmv
Carbon monoxide ≤ 7 ppmv
Other fluorocarbon ≤ 700 ppmv
Hydrogen fluoride  ≤ 10 ppmv

transport
DOT shipping name Liquefied gas, toxic, flammable
DOT classification 2.1, 2.3
DOT tag Liquefied gas, toxic, flammable
UN NO. UN 3160
CAS NO. 685-63-21
CGA/DISS 638
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  Liquid
Burning limit in the air -
Auto-ignition temperature ( °C ) -
Molecular weight ( g / mol ) 162.03
Specific gravity (air =1) -
Critical temperature ( °C ) 139.6
Critical pressure ( psig ) -

application
- The next generation of core materials required in the LSI manufacturing process to minimize circuit line width and depth. The dry etching gas is used in an etching process of micro contact holes. For special gases based on the CxFy chemical formula, the smaller the F/C value, the more CF2 groups are produced. Compared to C2F6 C3F8, C4F6 has a smaller F/C ratio and produces more CF2 groups, which in turn, etches more oxide film. Therefore, C4F6 has a higher selectivity to the oxide film and allows a more uniform etching;

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