Special gases
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Hydrogen fluoride
description
Hydrogen fluoride (HF) is a colorless, non-combustible, and liquefied gas with a pungent odor.

specification
purity,% 99.98
Moisture ≤ 50 ppmw
Fluorosilicic acid ≤ 50 ppmw
Sulfur dioxide ≤ 30 ppmw
Non-volatile acid ≤ 50 ppmw

transport
DOT shipping name Hydrogen fluoride, anhydrous
DOT classification 8
DOT tag Non-flammable gas
UN NO. UN 1790
CAS NO. 7664-39-3
CGA/DISS 660/638

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) -
Molecular weight ( g / mol ) 20.01
Specific gravity (air =1) 0.99
Critical temperature ( °C ) 188
Critical pressure ( psig ) 2939.3

application
- in semiconductor manufacturing: silicon wafer natural oxide layer etching; 
- participation in many chemical reactions;

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