Special gases
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Four fluorocarbon
description
Carbon tetrafluoride (CF4/Halocarbon 14) is a colorless, relatively non-toxic, non-flammable, slightly ether-like odor.Transported as a compressed gas. 

specification
Purity , % 99.9 99.999
oxygen ≤ 100 ppmv ≤ 1.0 ppmv
Nitrogen ≤ 400 ppmv ≤ 4.0 ppmv
carbon dioxide ≤ 80 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Carbon monoxide ≤ 50 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Methane ≤ 50 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Gas hydrocarbon ≤ 100 ppmv ≤ 2.0 ppmv
Moisture ≤ 10 ppmv ≤ 2.0 ppmv
Hexafluoride ≤ 15 ppmv ≤ 1.0 ppmv
Acidity as HF ≤ 1.0 ppmv ≤ 0.1ppmv

transport
DOT shipping name Carbon tetrafluoride, compressed
DOT classification 2.2
DOT tag Non-flammable gas
UN NO. UN1982
CAS NO. 75-76-0
CGA/DISS/JIS 320/716/W22-14L
Transportation status Compressible gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  gas
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) Nonflammable
Molecular weight ( g / mol ) 88.01
Specific gravity (air =1) 3.04
Critical temperature ( °C ) -45.65
Critical pressure ( psig ) 528.459

application
-CFC is the largest plasma etching gas in the microelectronics industry. It is used in the surface cleaning of electronic devices, solar cell production, laser technology, gas phase insulation and low temperature refrigeration, leak testers, detergents in printed circuit production, etc. Also used in large quantities;

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