Special gases
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Arsine
description
Arsine (AsH3) is a highly toxic, flammable, colorless, gas-like gas. The odour is subjective and therefore unreliable and should not be used to detect the presence of gas. It is transported as a liquefied gas under its vapor pressure.

specification
purity,% 99.999 99.9999
oxygen ≤1.0 ppmv ≤ 40 ppbv
Nitrogen ≤2.0 ppmv ≤ 250 ppbv
carbon dioxide ≤ 0.5ppmv ≤ 40 ppbv
Carbon monoxide ≤ 0.1ppmv ≤ 10ppbv
Moisture ≤ 0.5 ppmv ≤ 350 ppbv
C1-C2 ≤ 2.0 ppmv ≤ 500 ppbv
Decane
≤ 50 ppbv
Hydrogen sulfide
≤ 50 ppbv

transport
DOT shipping name Arsenic 
DOT classification 2.3 (2.1) Gas
DOT tag Gas/breathing hazard, flammable gas
UN NO. UN 2188
CAS NO. 7784-42-1
CGA/DISS/JIS 350/632/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air 5.1-78%
Auto-ignition temperature (°C) -
Molecular weight ( g / mol ) 77.95
Specific gravity (air =1) 2.695
Critical temperature ( °C ) 99.85
Critical pressure ( psig ) 985.3

application
- In semiconductor fabrication, germanium is an n-type dopant of epitaxial silicon (usually mixed with hydrogen); 
- for selected areas of doping of silicon wafers, by deposition/diffusion techniques, shallow structures such as emitters or Source-drain contact (usually ppm to percent, nitrogen is equilibrium); 
- Ion implantation, doping in selected areas (usually mixed with hydrogen); 
- Participating in many chemical reactions; 

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