Special gases
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Two fluorine methane
description
Difluoromethane (CH2F2/Halocarbon 32) is a colorless, flammable, slightly ether-like odor. It is transported as a liquefied gas under its own steam pressure.

specification
purity,% 99.99
oxygen ≤ 10 ppmv
Nitrogen ≤ 40 ppmv
carbon dioxide ≤ 5 ppmv
Moisture ≤ 15 ppmv
Acidity as HCL ≤ 0.2 ppmw

transport
DOT shipping name Difluoromethane
DOT classification 2.1
DOT tag Non-flammable gas
UN NO. UN 3252
CAS NO. 1975/10/5
CGA/DISS/JIS 350/724/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air
Auto-ignition temperature ( °C ) -18
Molecular weight ( g / mol ) 52
Specific gravity (air =1) 1.803
Critical temperature ( °C ) 78.4
Critical pressure ( psig )

application
- difluoromethane is used as a plasma etching gas for the silicon layer;

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