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Three fluorine methane

Three fluorine methane

description
Trifluoromethane (CHF3/Halocarbon 23) is a colorless, non-combustible liquefied gas. It is transported as a liquefied gas under its own steam pressure.

specification
Purity , % 99.9 99.999
oxygen ≤ 80 ppmv ≤ 1.0 ppmv
Nitrogen ≤ 300 ppmv ≤ 4.0 ppmv
carbon dioxide ≤ 50 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Carbon monoxide ≤ 30 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Methane ≤ 30 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Other organic matter ≤ 400ppmv ≤ 2.0 ppmv
Moisture ≤ 10.0 ppmv ≤ 2.0 ppmv
Acidity as HCL ≤ 1.0 ppmv ≤ 0.1 ppmv

transport
DOT shipping name Trifluoromethane
DOT classification 2.2
DOT tag Non-flammable gas
UN NO. UN 1984
CAS NO. 75-46-7
CGA/DISS/JIS 660/716/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) Nonflammable
Molecular weight ( g / mol ) 70
Specific gravity (air =1) 2.436
Critical temperature ( °C ) 178.43
Critical pressure ( psig ) 686.719

application
-trifluoromethane is a plasma etch used in a silicon oxide or silicon nitride layer; 
- fluoromethane is a low temperature refrigerant used to replace R22;

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