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Octafluorocyclobutane

Octafluorocyclobutane

description
Octafluorocyclobutane (C4F8/Halocarbon C318) is a non-flammable, colorless, odorless and tasteless gas. It is transported as a liquefied gas under its own steam pressure.

specification
Purity , % 99.9 99.999
oxygen ≤ 80 ppmv ≤ 1.0 ppmv
Nitrogen ≤ 300 ppmv ≤ 3.0 ppmv
carbon dioxide ≤ 50ppmv ≤ 0.5ppmv
Carbon monoxide ≤ 30 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Methane ≤ 30 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Moisture ≤10 ppmv ≤ 3.0 ppmv
Other organic matter ≤ 600 ppmv ≤ 5.0 ppmv
Acidity as HCL  ≤ 1.0 ppmw ≤ 0.1 ppmw

transport
DOT shipping name Octafluorocyclobutane
DOT classification 2.2
DOT tag Non-flammable gas
UN NO. UN 1976
CAS NO. 115-25-3
CGA/DISS/JIS 660/716/W22-14L
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) -
Molecular weight ( g / mol ) 200.03
Specific gravity (air =1) 7.33
Critical temperature ( °C ) 115.2
Critical pressure ( psig ) -

application
- In the semiconductor process, octafluorocyclobutane is used as a plasma etching gas for the silicon dioxide and silicon layers;

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