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Special gases

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hydrogen chloride

hydrogen chloride

description
Hydrogen chloride (HCl) is a colorless, corrosive, toxic, non-flammable, pungent odor. It is very irritating to the mucous membrane. Hydrogen chloride is heavier than air, forms dense smoke in humid air, and has a great affinity for water. It is transported as a liquefied gas under its own steam pressure.

specification
Purity , % 99.9 99.999
oxygen ≤ 10 ppmv ≤ 0.5 ppmv
Nitrogen ≤ 10.0 ppmv ≤ 2 ppmv
carbon dioxide ≤ 5.0 ppmv  ≤ 2.0 ppmv 
Carbon monoxide ≤ 5.0 ppmv  ≤ 1.0 ppmv
Methane ≤ 5.0 ppmv  ≤ 0.3 ppmv
Moisture ≤ 2.0 ppmv  ≤ 1.0 ppmv
Iron ion
≤ 1.0 

transport

DOT shipping name Hydrogen chloride, anhydrous
DOT classification 2.3
DOT tag Toxic gas, inhalation of harmful, corrosive gases
UN NO. UN 1050
CAS NO. 7647-01-0
CGA/DISS/JIS/BS341/DIN477 330/634/W26-14R/NO.6/NO.8
Transportation status Liquefied gas

Technical Information
Cylinder condition @ 21.1°C  liquid
Burning limit in the air Nonflammable
Auto-ignition temperature ( °C ) -
Molecular weight ( g / mol ) 36.461
Specific gravity (air =1) 1.19
Critical temperature ( °C ) 51.54
Critical pressure ( psig ) 1185

application
-  in the electronics industry, selective etching; 
- in semiconductor fabrication: for etching natural oxides prior to epitaxial deposition; CVD reactor cleaning, CVD oxide removal; 

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